Products of splead for japanese

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We produce the physics and chemistry equipments and thin film deposition systems.

スプリードは真空機器や研究開発機器の設計製造販売します。
お客様の用途に応じてカスタマイズし、世界に1台の装置をお届けします。
さらに各理化学機器や中古機器も取り扱います。

PLD装置

PLDsnl.png真空チャンバー外からのレーザー光で蒸着を行う装置です。超高真空チャンバー内でエピタキシャル成長の実験を行います。レーザーはYAGやエキシマを用います。価格や仕様はお客様に合わせて提案します。是非お問い合わせください。

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小型CVD装置

STD-M5.png成膜材料ガスを導入し簡易的にCVD実験を行う装置です。
メタルオーガニック(MO)ガスを導入したMOCVDや飽和表面反応を利用した原子層成膜(Atomic Layer Deposition)の実験も可能です。

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ALCVD装置 MO-ZERO2SP

ZERO2SP-1.pngメタルオーガニック(MO)ガスの飽和表面反応を利用した原子層成膜(Atomic Layer Deposition)の実験を行う装置です。

Under construction

真空乾燥装置[VD,HP,CP]

VD.pngチャンバー内で真空乾燥を行う装置です。
真空圧力を細かく制御し気泡や風紋を抑制します。
ホットプレートやコールドプレートも合わせた装置で乾燥工程を完了出来ます。

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環境試験装置

ETD6snl.pngチャンバー内で地球環境上の圧力や温度で試験が行える装置です。チャンバー内に設置された棚は-50℃~200℃まで温度制御されます。チャンバー内の圧力は1050hPa~200hPaまで制御されます。

Under construction