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小型単元スパッタ装置

ハイスペックコンポーネント仕様
Spattering System SP203-SS

スパッタガンは定評のUSA Kurt j.Lesker社製

電源は13.56MHz 600W アドテックプラズマテクノロジー社製など、多彩なメーカーを使用することにより高品質の成膜が得られる優れたスパッタ装置です。

お問い合わせからご連絡ください。

5台限り 400万円(税別)

仕様
1. チャンバー SUS304 Φ200×400㎜
2. バルブ 手動コンダクタンスバルブ
3. 排気系 ターボ分子ポンプ(大阪真空機器)
TG200(200L/s)
ロータリーポンプ(EDWARDS)
RV5(100L/s)
フロントハッチ
4. スパッタ源 2インチスパッタガン(USAKurtj.Lesker)
(排磁性) RF電源600W マッチングボックス
5. 基板ステージ 2インチ基板ホルダー
6. ガス導入ライン 20sccmマスフローコントローラー
MC-10 (リンテック)
オプション 真空計 フルレンジゲージ
基板加熱機構 シャッター機構
磁性材料スパッタガン チラー

※送料・設置工事費は別途申し受けます
※仕様は性能向上のため予告なく変更することがあります

 


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