SPLEAD Chamber Standard
中型UHV汎用チャンバー1
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| 中型UHV汎用 チャンバー1 |
¥1,450,000 |
- 汎用性の高いチャンバー
- スパッタ、MBE、etc.
材質：SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
フランジ数：ICF305×2 ICF203×3 ICF152×5 ICF70×6
リーク量：1.33x10-11Pa以下
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など
※ポートサイズ変更など
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| 中型UHV汎用 チャンバー1 |
¥1,450,000 |
材質：SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
フランジ数：ICF305×2 ICF203×3 ICF152×5 ICF70×6
リーク量：1.33x10-11Pa以下