SPLEAD Chamber Standard

UHV標準チャンバー

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UHV標準チャンバー ¥360,000

SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下
フランジ数:ICF70×5 ICF152×1 ICF203×2

カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など