到達圧力:4.0×10-2Pa 吸気口:VG-40 メインポンプ:833(L/min) ロータリーポンプ:200(L/min)
到達圧力:20Pa 吸気口:VG-40 メインポンプ:500(L/min) ダイアフライポンプ:100(L/min)