PFEIFFER Turbomolecular Pumps

磁気浮上型ターボ分子ポンプセット ATH2303M

セット内容
ポンプ本体/コントローラー
制御ケーブル/水冷

到達圧力:1×10-8オーダ(ベーク後)
圧縮比:1×109
冷却方法:水冷式
※フランジはICF以外の仕様有
※ポンプの取付・交換作業も承ります(有償)