SHMADZU Turbomolecular Pumps
磁気浮上型ターボ分子ポンプセット
型番だけのテーブル
| 型番 |
|---|
| STMP-203M（190L/s）CF152 |
| STMP-303M（320L/s） ICF152 |
| STMP-403M（420L/s） ICF203 |
| STMP-803M（800L/s） ICF203 |
- スタンダード磁気浮上ポンプ
セット内容
ポンプ本体／コントローラー
制御ケーブル／空冷ファン
到達圧力：1×10-8オーダ（ベーク後）
圧縮比：1×109
冷却方法：空冷式
※タッチダウンベアリングは260回（停電）耐えます
※フランジはICF以外の仕様有
※ポンプの取付・交換作業も承ります（有償）