Sample Heater Deposition Stages
Sic基板加熱機構
型番
SP-sic
ALD、CVD用基板加熱に最適
真空中の実験に広く使用できます
ヒーター部:Sicヒーター
最高加熱温度:1000℃
上下機構:リフトピン式
フランジ:SUS304
サイズ:2インチ
価格等詳しくはメールにて
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カスタマイズ可