SPLEAD Cooling Stages
基板冷却機構
型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
SPC-400
¥840,000
水冷ブロックにウェハを密着し冷却します
冷却方式：水（液体窒素可）
最高加熱温度：600℃
基板：2〜3インチ
上下機構：手動式
