SPLEAD Sputter contorol

RF300Wスパッタ用電源+整合器セット

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RFスパッタ用電源
T857-1
¥1,130,000

周波数:13.56MHz
出力電力:0〜300W(300W連続)
コネクタ:N型
出力安定度:±1%
出力インピーダンス:50Ω
入力:200VAC
冷却方法:空冷式
サイズ:358×270×134mm
※ケーブルは別途必要です