SPLEAD RF Power Supplies
RF500Wスパッタ用電源+整合器セット
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| RFスパッタ用電源 T857-2C |
¥1,380,000 |
- ソリッドステート型高性能高周波電源
- 自動マッチングボックスとの組み合せによりRFスパッタリングやプラズマCVDなどのプラズマ発生用に使用できます
周波数：13.56MHz±1KHz
出力電力：0〜500W 500W 連結
出力インピーダンス：50Ω
電源：200V（単相）
高調波出力：2次波-40dB以下
クーリング：強制空冷
サイズ：191×402×360
※その他製作可
カスタマイズ可