SPLEAD Port Aligners
XYアライメントステージ 1
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| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| ICF70-ICF70 | ¥95,000 | ||
| ICF70-ICF114 | ¥115,000 | ||
| ICF70-ICF152 | ¥125,000 | ||
| ICF70-ICF203 | ¥135,000 |
- チルト機構付
- 圧力10-8Pa以下の超高真空対応
- トランスファーロッド等の角度、
位置調整用ポートアライナー
SUS304
チルト：±3度
ベーク温度：200℃
ストローク量：±5mm
カスタマイズ可