PREVAC Thin Film Controllers
蒸着用成膜コントローラー TCM-13
- 膜厚モニター／プロセス制御システム付
- 6個の水晶振動子のモニター及び制御が可能
- 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単
- シンプルでコンパクトなデザイン
- 2台分の真空計の入力が可能
- インターフェイスはUSB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択可能
- シャッターは手動、時間、膜厚で制御可能
- 成膜レート及び膜厚用の2系統1.6bitアナログ出力が標準装備
- 標準6MHzの水晶振動子に対応
- Webで使用可能なユニット
- 周波数のレンジは2〜6MHzで周波数の制度は0.1Hz
- 成膜時間は0〜9999Å/sまで設定が可能で分解能は0.1Å/s
カスタマイズ可