SPLEAD Thin Film Monitors
多層膜蒸着用膜厚レートモニター SQM160
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| 多層膜蒸着用膜厚レートモニター SQM160 |
¥341,000 |
- センサー入力は異なる材料用に複数の割り当てが可能
- 正確な蒸着測定のための平均化測定ができます
センサー入力：2ch（オプションで6ch）
周波数範囲4.0〜6.0MHz
分解能：±0.12Hz@4readins/sec
安定性：±0.2ppm total 0℃以上〜50℃
測定時間：0.10〜2sec
メモリ保存膜数：9
アナログ出力：2〜10VDC
デジタルI/O 2入力/4出力
インターフェイス：RS-232
電源：100V/20W