INFICON Mass Spectrometers

• マイクロチャンネルプレート

フランジ：ICF70
最小検出分圧：6.6×10^-13Pa
分解能：<1amu
ゼロブラストの干渉：<100ppm
最大動作圧：6.6×10²
ベーク温度：（SUC取り外し）350℃
インターフェイス：RS232
LED表示