ボディ:SUS304 ベローズ軸シール 真空シール材:バイトンOリング ボンネットシール材:バイトンOリング 使用圧力領域:大気圧〜5×10-6Pa 許容加熱温度:150℃ リーク量:1.3×10-7Pa m2/sec以下 ※その他のサイズ有