SPLEAD ICF Butterfly Valves
ICFバタフライバルブ
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型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
ICF70BGV
¥113,000
ICF114BGV
¥127,000
ICF152BGV
¥178,500
ICF203BGV
¥253,000
コンダクタンス調整バルブ
ゲートバルブとしても使用可
スパッタ装置の流量調整用に
口径に対するコンダクタンス性能は真空バルブで最大です
ボディ:SUS304
使用圧力範囲:1×10
-5
Pa
ディスクシール:フッ素ゴムOリング
軸シール:フッ素ゴムOリング
作動方式:手動
KF/ISO/JISタイプ有