SPLEAD Conductance Contorol Valves
NW圧力 コントロールバルブ(バタフライ)
弁体部が0〜90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットルバルブです(バタフライ)
キャパシタレスマノメータと併用する事により半導体等のプロセスにおいて高速応答、高再現性の真空圧力制御
価格等詳しくはメールにて
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カスタマイズ可
テフロンコーティングの真空バルブ
プロセスガスと接触するバルブ内面にテフロン材質塗装