Htc APC Control Valves
HV高真空対応 APCコントロールバルブ(NW)
型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
KF40BFV
¥400,000
KF50BFV
¥430,000
弁体部が0〜90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットルバルブです(バタフライ)
コントローラ搭載型バルブ
スプリード販売品限定のスプリードオリジナルアナログソフト(日本語版)付属
CVD,ALDなど排気コントロールが必要な装置に 利用されます
仕様等詳しくはメールにて
お問合せ下さい
フランジ:ICF70
材質:アルミニウム/ステンレス
シール方式:Oリング回転軸シール
使用圧力領域(Pa):1.10
-6
〜0.12M