Ething & Tabular furnace

プラズマ真空管状炉 PSK−01

真空中で試料を回転加熱を行いながらプラズマ放電式の管状炉です。

仕様 
放電管 石英パイプガラス
排気系 ロータリーポンプ50L/S
周波数 13.56MHz±1KHz
ヒーター ハロゲンランプ式
回転機構 ステッピングモーター

真空管状炉 PSK−02

真空中で試料を回転加熱を行う管状炉です。

仕様 
加熱炉 石英パイプガラス
排気系 ロータリーポンプ50L/S
回転機構 ステッピングモーター

XeF2-E 200 ¥3,800,000〜

XeF2ガスを使用したエッチング装置です。

タイマー及びカウンターを用いて自動的に動作させることができます。

コンパクト設計

仕様 
チャンバー AL製角チャンバー
排気系 ロータリーポンプ(ケミカル仕様200L/S)
真空計 ピラニー真空計

オプション

基板回転機構


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