Sputter System

超高真空リチウム蒸着装置 LiMBE-460 ¥30,000,000〜

リチウム材を大気に触れないようロードロック室をグローブボックスに配置した画期的な装置で、ピュアなリチウムを蒸着することができます。

仕様 
成膜室
チャンバー ステンレス製(SUS304)液体窒素シュラウド(SUS316L)
排気系 ターボ分子ポンプ、TSPロータリーポンプ
到達圧力 1×10-8Pa以下
基板か移転加熱機構 800°C
Liセル 25〜50cc
ロートロック室
チャンバー ステンレス製(SUS304)
排気系 ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ
グローブボックス
  パスボックス付(SUS301)
  ガス循環精製装置

HVリチウム鋳造装置 LiSLL

小型でグローブボックス内でLiを鋳造できます。

真空中で溶解し、真空中で型に入れることができます。

仕様 
チャンバー ステンレス製(SUS304)
Liセル 50cc×1
排気系 ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ

リチウム関連製品 Li-50

リチウム製用セル

超高真空用リチウム用セル

仕様
材質 SUS316、タンタル、タングステン
熱電対 Kタイプ

リチウム関連製品 DR−310

ドライボックス

個別の室をドライな環境に保つことができます。

各室にファンが取付けてありガスの循環にすぐれています。

仕様
材質 塩ビ・アクリル
ファン 小型シロッコファン
チューブ PTFE

リチウム関連製品 GA-390

ガス分配装置

個別のガスを調整しながらガス導入、排気ができるユニット

構成
材質 アルミ
流量計 ニードルバルブ付
圧力計 ブルドン管式

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