SPLEAD Chamber Standard
JISチャンバー
- 汎用性の高いチャンバーです
- トップフランジの取り外しが簡単で
チャンバー内部の作業が容易に行えます
SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：φ400×2、ICF70×10
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など
※ポートサイズ変更など
SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：φ400×2、ICF70×10