SPLEAD D-Shape Chambers
フロントハッチ式チャンバー1
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フロントハッチ式チャンバー1
¥1,300,000
ハッチ式でチャンバー内部の作業がしやすい多目的チャンバー
アルバック社、アネルバ社のリフト付装置の交換用チャンバーとして使用できます
多機能な用途に利用されます
スパッタ、EB、CVD、その他に利用できます
多くの研究室に採用されています
材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
フランジ数:ICF70×2 ICF114×1 ICF152×2 ICF203×2 窓×2(標準)
ハッチシール:バイトンOリング
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など