SPLEAD Chamber Standard
中型UHV汎用チャンバー1
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中型UHV汎用
チャンバー1
¥1,450,000
汎用性の高いチャンバー
スパッタ、MBE、etc.
材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
フランジ数:ICF305×2 ICF203×3 ICF152×5 ICF70×6
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など