SPLEAD Chamber Standard
UHV複合型チャンバー(水冷式)
型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
UHV複合型
チャンバー
(水冷式)
¥1,600,000
EB、セル対応チャンバー
チャンバー水冷式
交換室の増設ポート付で汎用性が高いチャンバー
SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF203×1 下部ICF253×1
ICF152×2 ICF114×4 ICF70×4
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など