SPLEAD Chamber Standard
UHV複合型チャンバー（水冷式）
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| UHV複合型 チャンバー （水冷式） |
¥1,600,000 |
- EB、セル対応チャンバー
- チャンバー水冷式
- 交換室の増設ポート付で汎用性が高いチャンバー
SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：ICF203×1 下部ICF253×1
ICF152×2 ICF114×4 ICF70×4
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など
※ポートサイズ変更など