SPLEAD CVD Chamber Standard
中型HV汎用チャンバー
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中型HV汎用
チャンバー
¥800,000
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中型実験用CVDチャンバー
各ポートはNW仕様でガス導入測定機器の変更等が容易おこなえます
SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF356×2 NW100×4 NW40×8
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など