SPLEAD CVD Chamber Standard
中型HV汎用チャンバー
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| 中型HV汎用 チャンバー |
¥800,000 |
- 中型実験用CVDチャンバー
- 各ポートはNW仕様でガス導入測定機器の変更等が容易おこなえます
SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：ICF356×2 NW100×4 NW40×8
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など
※ポートサイズ変更など
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| 中型HV汎用 チャンバー |
¥800,000 |
SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：ICF356×2 NW100×4 NW40×8