SPLEAD Chamber Standard
UHV・HVチャンバー(ALD・CVD)
型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
UHV・HVチャンバー
(ALD・CVD)
¥430,000
ALD,CVD用に開発されたチャンバー
NW仕様のポートもあり実験の変更等が容易にできます
SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF203×2 ICF152×1 ICF114×2 ICF70×2 ICF34×4 NW25x4
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など