SPLEAD D-Shape Chamber Standard
中型CVDチャンバー
型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
中型CVD
チャンバー
¥2,000,000
上下フランジを大口型JIS仕様にて設計したチャンバー
フロントドアで内部機械等の調整が容易におこなえます
SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:VG200×2 IC152×2 ICF114×3 ICF70×3 NW25×2
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など