SPLEAD UHV Chamber
UHVチャンバーV
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UHVチャンバーV
¥1,200,000
ポート数が多いので分析チャンバーに適しています
多機能な用途にも利用できます
材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33×10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF305×2 ICF203×1 ICF152×3 ICF114×1 ICF70×10