SPLEAD Chamber Standard
UHV標準チャンバー I
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UHV標準チャンバー I
¥460,000
縦横自在
二つ合わせれば成膜室+ロードロック室として構築できます
多機能な用途に利用されます
SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:IICF70×4 ICF114×1 ICF152×1 ICF203×2
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など