SPLEAD 6-Way Crosses Chamber
6方クロスチャンバー
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型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
ICF34×6
¥45,000
ICF70×6
¥78,000
ICF114×6
¥116,000
ICF152×6
¥180,000
ICF203×6
¥290,000
ICF253×6
¥410,000
安価でチャンバーやロードロック室が構築できます
3方向回転フランジ
多機能な用途に利用されます
オプションの脚の取付ができます
材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
カスタマイズ可