SPLEAD Chamber Standard
UHVクロスチャンバー
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型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
ICF203TC
¥330,000
フランジ数:ICF70×4 ICF203×4
ICF253TC
¥350,000
フランジ数:ICF70×4 ICF253×4
安価で使いやすいチャンバーです
多機能な用途に利用されます
2方向回転フランジ
SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など