SPLEAD Chamber Standard

UHVクロスチャンバー

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型番 価格(税別) 個数 見積依頼
ICF203TC ¥330,000
フランジ数:ICF70×4 ICF203×4
ICF253TC ¥350,000
フランジ数:ICF70×4 ICF253×4

SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下

カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など