SPLEAD Chamber Standard

小型チャンバー1

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小型チャンバー1 ¥150,000

SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-111Pa以下
フランジ数:ICF70×6 ICF114×2

カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など