SPLEAD Chamber Standard
MBE/PLD 汎用UHVチャンバー
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MBE/PLD 汎用
UHVチャンバー
¥1,400,000
汎用性の高いチャンバーです
回折装置・PLD装置・MBE装置・スパッタ装置・etcに
多機能な用途に利用されます
SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF70×6 ICF114×4 ICF152×2 ICF203×2
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など