SPLEAD Standard Chamber
ロードロックチャンバー（多目的）
| フランジ数：ICF70x2（共通） | |||
| フランジ数： | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| ICF114×6 | ¥250,000 | ||
| ICF152×6 | ¥310,000 | ||
| ICF203×6 | ¥380,000 | ||
- 安価でロードロック室が構築できます
- 多機能な用途に利用されます
- 単体でのチャンバーとして使用できます
SUS304
3箇所回転フランジ
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
カスタマイズ可