SPLEAD Standard Chamber
ロードロックチャンバー(多目的)
フランジ数:ICF70x2(共通)
フランジ数:
価格
(税別)
個数
見積依頼
ICF114×6
¥250,000
ICF152×6
¥310,000
ICF203×6
¥380,000
安価でロードロック室が構築できます
多機能な用途に利用されます
単体でのチャンバーとして使用できます
SUS304
3箇所回転フランジ
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
カスタマイズ可