SPLEAD Chamber Standard
UHV小型5方チャンバー
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UHV小型5方チャンバー
¥230,000
簡易実験に最適です。
ロードロック室用チャンバー等にも利用できます。
SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF70×2 ICF114×1 ICF152×2