SPLEAD Chamber Standard

UHV小型5方チャンバー

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UHV小型5方チャンバー ¥230,000

SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下
フランジ数:ICF70×2 ICF114×1 ICF152×2