SPLEAD Chamber Standard
ICF-NWチャンバー
型番
価格
(税別)
個数
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ICF-NWチャンバー
¥150,000
HVチャンバーとして使用できます
NWポートで多様な導入が可能です
SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF203x2 NW40x6
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など