SPLEAD Chamber Standard
小型L/Lチャンバー
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| 小型L/Lチャンバー | ¥190,000 |
- アクセス部がICF152サイズで作業性に優れています
- 小型真空装置向けのロードロック室です
- トップ・ベースブランク構造
材質：SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：ICF152×1 ICF70×3
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など
※ポートサイズ変更など
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| 小型L/Lチャンバー | ¥190,000 |
材質：SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：ICF152×1 ICF70×3