SPLEAD Chamber Standard
小型L/Lチャンバー
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小型L/Lチャンバー
¥190,000
アクセス部がICF152サイズで作業性に優れています
小型真空装置向けのロードロック室です
トップ・ベースブランク構造
材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF152×1 ICF70×3
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など