SPLEAD Chamber Standard

UHV横長チャンバー

型番 価格(税別) 個数 見積依頼
UHV横長チャンバー ¥520,000

材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下
フランジ数:ICF203×6 ICF70×3
リークバルブ×1

カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など