SPLEAD Chamber Standard
UHV横長チャンバー
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UHV横長チャンバー
¥520,000
横長でシンプルなチャンバーです
多機能な用途に使用されます
リークポートが溶接されています
材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF203×6 ICF70×3
リークバルブ×1
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など