SPLEAD Chamber Standard
UHV小型チャンバーⅡ
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UHV小型チャンバーⅡ
¥475,000
多機能な用途に使用されます
材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF203×1 ICF152×1
ICF114×1 ICF70×4
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など