SPLEAD Chamber Standard
UHV小型チャンバーⅢ
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| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| UHV小型チャンバーⅢ | ¥495,000 |
- 成膜室チャンバーとして利用されます
- 多機能な用途に使用されます
材質：SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：ICF203×2 ICF152×2
ICF114×1 ICF70×6
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など
※ポートサイズ変更など
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| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| UHV小型チャンバーⅢ | ¥495,000 |
材質：SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：ICF203×2 ICF152×2
ICF114×1 ICF70×6