SPLEAD Chamber Standard
UHV小型チャンバーⅢ
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UHV小型チャンバーⅢ
¥495,000
成膜室チャンバーとして利用されます
多機能な用途に使用されます
材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF203×2 ICF152×2
ICF114×1 ICF70×6
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など