SPLEAD Chamber Standard
小型L/LチャンバーⅡ
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| 小型L/LチャンバーⅡ | ¥500,000 |
- 小型のロードロック用チャンバーです
- UHV仕様で多目的な用途に利用できます
材質：SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：ICF114×2 ICF70×4
ICF特型サイズ70x2
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など
※ポートサイズ変更など
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| 小型L/LチャンバーⅡ | ¥500,000 |
材質：SUS304
表面処理：バフ研磨+電解研磨
リーク量：1.33x10-11Pa以下
フランジ数：ICF114×2 ICF70×4
ICF特型サイズ70x2