SPLEAD Chamber Standard
小型L/LチャンバーⅡ
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小型L/LチャンバーⅡ
¥500,000
小型のロードロック用チャンバーです
UHV仕様で多目的な用途に利用できます
材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10
-11
Pa以下
フランジ数:ICF114×2 ICF70×4
ICF特型サイズ70x2
カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など