SPLEAD Diffusion Pumps

油拡散ポンプ

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型番
DPF-2ZA（50L/s）
DPF-3ZA（150L/s）
DPF-4ZA（215L/s）

ファンによる強制空冷式
軽量コンパクト
各種真空排気装置に使用可

到達圧力：1x10^-5Pa