SHIMADZU Turbomolecular Pumps
複合型ターボ分子ポンプセット
| 型番 |
|---|
| TMP-B70（70L/s） ICF114 |
| TMP-B300（280L/s） ICF152 |
- 磁気軸受とセラミック軸受により低振動、高寿命を実現
- 高い排圧、高い水素圧縮比
- 全方位取付可能
到達圧力：1×10-6Pa
圧縮比：1×109Pa
冷却方法：空冷式
※フランジはICF以外の仕様有
※ポンプの取付・交換作業も承ります（有償）
| 型番 |
|---|
| TMP-B70（70L/s） ICF114 |
| TMP-B300（280L/s） ICF152 |
到達圧力：1×10-6Pa
圧縮比：1×109Pa
冷却方法：空冷式
※フランジはICF以外の仕様有
※ポンプの取付・交換作業も承ります（有償）