OSAKA Turbomolecular Pumps
磁気軸受形複合分子ポンプセット
| 型番 |
|---|
| TG397M（340L/s） ICF152 |
| TG427M（400L/s） ICF203 |
| TG903M（900L/s） ICF203 |
| TG1307M（1300L/s） ICF253 |
- オイルフリーの超高真空が得られる
希ガスか腐食性ガスの排気が可能
到達圧力：1×10-8Pa
圧縮比：1×108Pa
冷却方法：空冷式
※フランジはICF以外の仕様有
※ポンプの取付・交換作業も承ります（有償）
| 型番 |
|---|
| TG397M（340L/s） ICF152 |
| TG427M（400L/s） ICF203 |
| TG903M（900L/s） ICF203 |
| TG1307M（1300L/s） ICF253 |
到達圧力：1×10-8Pa
圧縮比：1×108Pa
冷却方法：空冷式
※フランジはICF以外の仕様有
※ポンプの取付・交換作業も承ります（有償）