ULVAC Vacuum Systems
ターボ分子ポンプ排気装置
型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
VPT-060
¥850,000
ターボ分子ポンプ
+ドライ真空ポンプ
完全ドライの排気ユニットです。
設置スペースがコンパクト
排気口：ISO63
到達圧力：10
-5
Pa台
単相100V
