ULVAC Vacuum Systems

型番
VTR-350MX

• ターボ分子ポンプ
  　+油回転真空ポンプ
  ・TMP345L/sec
  ・R.P200L/min

到達圧力：10^-4Pa台
メインポンプ：ターボ分子ポンプ
補助ポンプ：油回転真空ポンプ
単相100V