KASHIYAMA Dry Pumps
多段ルーツ式ドライポンプ
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| SDE303X | ¥5,800,000 |
- 多彩な設定で幅広いプロセスに対応
- あらゆるプロセスに対応する高耐久性
ドライ真空ポンプ - 耐久性と省エネを実現しランニングコスト
を低減しました - ALD,CVD装置に最適
排気速度：5000L/min
到達圧力：0.5Pa
3相AC200〜220V
吸排気口：KF40/KF40
N2流量：0〜60SLM
・サイレンサーなどのオプション有
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| SDE303X | ¥5,800,000 |
排気速度：5000L/min
到達圧力：0.5Pa
3相AC200〜220V
吸排気口：KF40/KF40
N2流量：0〜60SLM
・サイレンサーなどのオプション有