Sample Heater Deposition Stages
プレート式基板加熱機構
型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
SPH-500
¥1,500,000
ALD、CVD用基板加熱に最適
真空中の実験に広く使用できます
最高加熱温度:500℃
上下機構付(マニュアル有)
フランジ:SUS304
サイズ:2インチ
カスタマイズ可