Sample Heater Deposition Stages

Sic基板加熱機構

型番
SP-sic

ALD、CVD用基板加熱に最適
真空中の実験に広く使用できます
ヒーター部：Sicヒーター
最高加熱温度：1000℃
上下機構：リフトピン式
フランジ：SUS304
サイズ：2インチ

価格等詳しくはメールにて
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カスタマイズ可